MicroVu Vertex 220 自动量测系统

效 能?机 型 8x6 12x12 精度 XY Uxy =2+ L/250μm (L:mm) Uxy =2.6+ L/175μm (L:mm) 精度 Z U 2=3+ L/150μm (L:mm) 重复性 XY 2μm 2.5μm 重复性 Z 2μm 加速度XY 20”/s2 (500mm/s2) 加速度 Z 8”/s2 (200mm/s2) 速度 XY 10”/s (250mm/s) 速度 Z 4”/s (100mm/s) 光学尺读值 1μm/ 0.5μm / 0.1μm 机 械 性 质 量测行程 8”x6”x6”(200x150x150mm) 12”x12”x6”(300x300x150mm) 外观尺寸 LxWxH 760x635x965mm LxWxH 1090x865x990mm 重 量 130lb (60kg) 270lb (125kg) 床台荷重 15lb (7.5kg) 25lb (12kg) 床 台 表层电硬镀& 固定螺孔 基座材质 铝合金 (选配：花岗岩) 精密滑轨 XY：特殊轨道 Z：线性轨道 移动控制 伺服：CNC，鼠标，下拉式控制。 电 子 系 统 光学镜头 Motorized Zoom/ 12：1，17-410X Or 6.5：1，20-250X 影像 & 光源 超高解析/ 彩色系统?白色LED 黑白系统?红色LED 软 体 InSpec for Win. 2000 几何软件 计算机系统 1.2GHz / 256 MB Ram/ Win. 2000/ CD-RW/网络卡 使用环境 68? (20℃)/ 温度变化量：<2? 湿度：30-80%